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質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應速度快、過(guò)沖小。

質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現，當輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因為在MFC行業(yè)中，有一種參數叫CF，即氣體轉換系數（下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話(huà)，簡(jiǎn)單的分析其比率，用各自的CF值計算即可。

假設某臺MFC是用N2標定的，但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠(chǎng)家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數時(shí)，是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái)，如果N2流過(guò)He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現流量不準時(shí)，考慮出廠(chǎng)標定CF是否與你的氣源相同。

質(zhì)量流量計簡(jiǎn)介

流體的體積是流體溫度和壓力的函數，是一個(gè)因變量，而流體的質(zhì)量是一個(gè)不隨時(shí)間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計中，如孔板流量計、層流質(zhì)量流量計、渦輪流量計、渦街流量計、電磁流量計、轉子流量計、超聲波流量計和橢圓齒輪流量計等的流量測量值是流體的體積流量。在科學(xué)研究、生產(chǎn)過(guò)程控制、質(zhì)量管理、經(jīng)濟核算和貿易交接等活動(dòng)中所涉及的流體量一般多為質(zhì)量。采用上述流量計僅僅測得流體的體積流量往往不能滿(mǎn)足人們的要求，通常還需要設法獲得流體的質(zhì)量流量。以前只能在測量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數后，通過(guò)修正、換算和補償等方法間接地得到流體的質(zhì)量。這種測量方法，中間環(huán)節多，質(zhì)量流量測量的準確度難以得到保證和提高。隨著(zhù)現代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，相繼出現了一些直接測量質(zhì)量流量的計量方法和裝置，從而推動(dòng)了流量測量技術(shù)的進(jìn)步。

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流量計的常見(jiàn)類(lèi)型介紹

1. 容積式流量計，它利用機械測量元件把流體連續不斷的分割成單個(gè)已知的體積部分，根據測量室逐次重復的充滿(mǎn)和排放該體積部分流體的次數來(lái)測量流體體積流量。

2. 浮子式流量計，是變面積式流量計的一種，在一根由下向上擴大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動(dòng)力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。

3. 差圧式流量計 ，是根據安裝于管道中流量檢測件產(chǎn)生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來(lái)計算流量的儀表。

4. 渦街流量計，在流體中安放一根非流線(xiàn)型游渦發(fā)生體，流體在發(fā)生體兩側交替的分離釋放出兩串規則地交錯排列的游渦的儀表。

5. 渦輪流量計，是速度式流量計中的主要種類(lèi)，它采用多葉片的轉子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導出流量或總量的儀表。

6. 超聲流量計，通過(guò)檢測流體流動(dòng)對超聲束（或超聲脈沖）的作用以測量流量的儀表。

7. 電磁流量計，電磁流量計是根據法拉弟電磁感應定律制成的一種測量導電性液體的儀表。

8. 熱式流量計，熱式流量計傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說(shuō)熱消散值，與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

科里奧利式流量計，其原理是利用流體在振管內流動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的科氏力，以直接或間接地方法測量其力而得到流體質(zhì)量流量。

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